Si기판 위에 물질 A를 코팅하고 다시 그 위에 물질 B를 코팅한다. A의 두께를 모른 상태에서 B의 두께만 측정하려면 어떻게 해야 할까?
조건은, A와 B는 광학적으로 거의 투명하고, B의 두께가 A의 두께보다 수십배 얇은 것 정도는 확실하다. 표면 품질은 Si기판의 품질을 그대로 따라간다.
생각1
3M테이프로 마스크를 붙이고 A를 코팅하고 B를 코팅한다.
이 생각은 바로 기각되었다. 3M테이프를 떼어내서 알 수 있는건 결국 A+B의 두께이다.
생각2
A를 코팅하고 3M테이프로 마스크를 붙이고 B를 코팅한다.
이 생각도 바로 기각되었다. 3M테이프를 떼어낼 때 A도 같이 떨어질 것이다.
생각3
A를 코팅하고 비접착식 마스크를 붙이고 B를 코팅한다.
이 생각은 바람직하지만 마스크의 설계가 문제이다. B를 코팅할 때 코팅 장비에 마스크를 부착해서 넣어야 하는데 코팅 장비가 어떻게 생겼는지 전혀 알 방법이 없다.
생각3-1
마스크를 원판에 ㄷ자 걸쇠를 붙인 모양으로 만든다.
이 생각은 편리하게 쓸 수 있는데 코팅 장비도 ㄷ자 걸쇠로 들어갈 수가 있으므로 주의해야 한다.
생각3-2
마스크를 그냥 평평하게 만들고 코팅 장비에 기판과 같이 넣어버린다.
이 생각은 코팅 장비의 모양에 상관 없이 그냥 쓸 수 있다. 문제는 마스크와 기판의 위치가 틀어지면 코팅 했어도 버려야 한다는 점이다.
계속 고민 중.
코팅 방법이 스핀 코팅이라 쓸 수 없습니다…ㅜ_ㅜ
코팅하고 코팅액이 줄어든 양을 측정해서 그걸로 역산을 하면 두께가…
음? 정확하지 않아 보이니 패스 OTL
聞빱빱?두분이서 언제 한번 만나시는 날에 얘기해주시면 착불로 보내드릴 수도 있을거 같기도 하고 못할거 같기도하고…鸚?
저도 한 판 부탁….^^
그건…좋은 생각이긴 한데, 내가 사용 가능한 장비중에 AFM은 있어도 EM은 없더라…-_-;
불가능합니다. -_-;;;
마스크는 “필요 없는 부분”을 가려주는 것인데 마스크만 코팅하면 “필요 없는 부분”에만 코팅이 되겟죠…
B는 5나노미터급 입니다. 두꺼워봐야 10나노미터 이하로 만들 예정이구요.
단면을 TEM이나 SEM으로 보면 안 되나요?
엑스레이 단층 촬영이라던지…;;;
기판을 사용하지 않고 마스크만 코팅해보는건 불가능 할까요..??
어렵군요. 실험을 많이 하는 것이라면 마스크와 기판을 동시에 놓을 수 있는 다이를 하나 만들어야 할듯 싶은데….^^; 대략 예상하는 B코팅 두께는 몇 ㎛나 되나요?
저런.
그럼 일단 한판 보내줘요 ㅋㅋ
鸚빱빱빱빱?맛과 곰팡이는 보장 못함돠
완성되면 한판 보내줘요ㅋㅋ
ㅋ_ㅋ 넹 전 이미 맛나게 먹고 팬케이크 반죽하려고 준비중임돠 ~_~
요즘 팬케이크 이쁘게 굽기 & 설탕시럽 맛있게 졸이기 도전중이에요 ㅇ_ㅇ ㅋㅋㅋ
광주로 놀러오면 매우 자세한 얘기를 해줄 수 있겠지만 블로그에 쓰기엔 좀 어렵군요.
저녁은 간단히 밥 한그릇 먹었네요. 탠저린님은 드셨나요? ㅋㅋ
聞빱?영업비밀 ㅋㅋㅋㅋ
뎠銖歐봇?….음..몰라요 모르겠어요 엉엉
저녁은 드셧사옵나이까 :ㅁ
어…그건 아니고, 조금 더 자세한건 네이버 블로그 방명록에 비밀글로 남겨둘게요
음…B공정의 물질을 사용하느냐 못하느냐의 차이가 생깁니다. 자세한건 영업 비밀 🙂
비밀댓글입니다
허허….뭘까요이건 전혀 새로운 글이네..
근데 결국 마스킹을 해도 그거 떼내고 나면 기판 한장 버려야 하는거 아닌가요??
음…그렇게 되면 기판 한장을 버려야 하는 비용상의 문제가 있고, “실제로 사용할” 기판에 “실제로” 어떤 두께로 코팅되었는지가 확실하지 않게 되는 문제가 있습니다. 사소한 문제들이긴 한데, 일단 그걸 피해가는 해법을 찾아보는 중입니다.
그냥 코팅되지 않은 물질에 B 공정만 해보면 안되려나요 -ㅁ-?