Si기판 위에 물질 A를 코팅하고 다시 그 위에 물질 B를 코팅한다. A의 두께를 모른 상태에서 B의 두께만 측정하려면 어떻게 해야 할까?
조건은, A와 B는 광학적으로 거의 투명하고, B의 두께가 A의 두께보다 수십배 얇은 것 정도는 확실하다. 표면 품질은 Si기판의 품질을 그대로 따라간다.
생각1
3M테이프로 마스크를 붙이고 A를 코팅하고 B를 코팅한다.
이 생각은 바로 기각되었다. 3M테이프를 떼어내서 알 수 있는건 결국 A+B의 두께이다.
생각2
A를 코팅하고 3M테이프로 마스크를 붙이고 B를 코팅한다.
이 생각도 바로 기각되었다. 3M테이프를 떼어낼 때 A도 같이 떨어질 것이다.
생각3
A를 코팅하고 비접착식 마스크를 붙이고 B를 코팅한다.
이 생각은 바람직하지만 마스크의 설계가 문제이다. B를 코팅할 때 코팅 장비에 마스크를 부착해서 넣어야 하는데 코팅 장비가 어떻게 생겼는지 전혀 알 방법이 없다.
생각3-1
마스크를 원판에 ㄷ자 걸쇠를 붙인 모양으로 만든다.
이 생각은 편리하게 쓸 수 있는데 코팅 장비도 ㄷ자 걸쇠로 들어갈 수가 있으므로 주의해야 한다.
생각3-2
마스크를 그냥 평평하게 만들고 코팅 장비에 기판과 같이 넣어버린다.
이 생각은 코팅 장비의 모양에 상관 없이 그냥 쓸 수 있다. 문제는 마스크와 기판의 위치가 틀어지면 코팅 했어도 버려야 한다는 점이다.
계속 고민 중.
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